GB/T 24468-2009 半导体设备可靠性、可用性和维修性(RAM)的定义和测量规范
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时间:2024-05-11 03:57:13
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基本信息
标准名称: | 半导体设备可靠性、可用性和维修性(RAM)的定义和测量规范 |
英文名称: | Specification for definition and measurement of semiconductor equipment reliability availability and maintainability(RAM) |
中标分类: | 电子元器件与信息技术 >> 电子测量与仪器 >> 电子测量与仪器综合 |
ICS分类: | 计量学和测量、物理现象 >> 长度和角度测量 >> 测量仪器仪表 |
发布部门: | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
发布日期: | 2009-10-15 |
实施日期: | 2009-12-01 |
首发日期: | 2009-10-15 |
作废日期: | |
主管部门: | 国家标准化管理委员会 |
归口单位: | 469-203 全国半导体材料和设备标准化技术委员会 |
起草单位: | 中国电子技术标准化研究所 |
出版社: | 中国标准出版社 |
出版日期: | 2009-12-01 |
页数: | 36页 |
计划单号: | 20068064-T-469 |
适用范围
没有内容
前言
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目录
没有内容
引用标准
没有内容
所属分类: 电子元器件与信息技术 电子测量与仪器 电子测量与仪器综合 计量学和测量 物理现象 长度和角度测量 测量仪器仪表
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